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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:LIGA Fabricated serially arranged Electrostatic Comb-Drives for XY-Stage 
著者
和文: Kwang KIM, Mikio HORIE.  
英文: Kwang KIM, Mikio HORIE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proceeding of Third International Workshop on High Aspect Ratio Micro System Technology(HARMST'99) 
巻, 号, ページ         pp. 134～135
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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