LIGA Fabricated serially arranged Electrostatic Comb-Drives for XY-Stage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	LIGA Fabricated serially arranged Electrostatic Comb-Drives for XY-Stage

著者

和文:	Kwang KIM, Mikio HORIE.
英文:	Kwang KIM, Mikio HORIE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceeding of Third International Workshop on High Aspect Ratio Micro System Technology(HARMST'99)

巻, 号, ページ

pp. 134～135

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: