25 nm Pitch GaInAs/InP Buried Structure by Calixarene Resist

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	25 nm Pitch GaInAs/InP Buried Structure by Calixarene Resist

著者

和文:	A.Kokubo, T.Hattori, H.Hongo, M.Suhara, Y.Miyamoto, K.Furuya.
英文:	A.Kokubo, T.Hattori, H.Hongo, M.Suhara, Y.Miyamoto, K.Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 37 No. 7A pp. L827

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: