Toward nano-metal buried structure in InP - 20 nm wire and InP buried growth of tungsten

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Toward nano-metal buried structure in InP - 20 nm wire and InP buried growth of tungsten

著者

和文:	T. Arai, H. Tobita, Y. Harada, M. Suhara, Y. Miyamoto, K. Furuya.
英文:	T. Arai, H. Tobita, Y. Harada, M. Suhara, Y. Miyamoto, K. Furuya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Physica E

巻, 号, ページ

Vol. 7 No. 3-4 pp. 896

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: