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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:New Approach to Low Temperature Si Epitaxy by Using Hot Wire Cell Method 
著者
和文: Tatsuro WATAHIKI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.  
英文: Tatsuro WATAHIKI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Crystal Growth 
巻, 号, ページ Vol. 209        pp. 335
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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