Epitaxial Growth of Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Film by Low Temperature Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Epitaxial Growth of Si_1-yC_y Film by Low Temperature Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 39 No. 11A pp. L1078

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: