Improvement in Aspect Ratio of p-GaAs Oxide Fabricated by AFM-Based Nanolithography Using Pulsed Voltage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement in Aspect Ratio of p-GaAs Oxide Fabricated by AFM-Based Nanolithography Using Pulsed Voltage

著者

和文:	Yuichi MATSUZAKI, Shigeki HASUI, Shin-ya KAMADA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Yuichi MATSUZAKI, Shigeki HASUI, Shin-ya KAMADA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	8th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy and Asian SPM III

巻, 号, ページ

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: