A Study on Nanometer Positioning Table System Equipped with Electrorheological Fluid Units

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study on Nanometer Positioning Table System Equipped with Electrorheological Fluid Units

著者

和文:	Hitoshi Hashizume, Hidenori Shinno.
英文:	Hitoshi Hashizume, Hidenori Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	JSME Internaional Journal(Series C)

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 1 pp. 183-189

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI