マイクロセンサによる超精密加工のインプロセス加工状態認識

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロセンサによる超精密加工のインプロセス加工状態認識
英文:	In-Process Machining Status Monitoring of Ultraprecision Machining Using Micro-Sensor

著者

和文:	橋詰等, 山本省吾, 新野秀憲.
英文:	橋詰等, 山本省吾, HIDENORI SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会１９９９年度年次大会講演論文集
英文:	Proceedings of The 77th JSME(Japan Society of Mechanical Engineers) Fall Annual Meeting

巻, 号, ページ

pp. 195-196

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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