帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定
英文:

著者

和文:	平林晃, 小川英光, 水谷竜也, 永井健, 北川克一.
英文:	平林晃, 小川英光, 水谷竜也, 永井健, 北川克一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	計測自動制御学会論文集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 36 No. 1 pp. 16-25

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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