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論文・著書情報


タイトル
和文:高密度HDDのための浮上量検出用マイクロ静電容量センサ 
英文: 
著者
和文: 金　金光, 堀江三喜男.  
英文: 金　金光, 堀江三喜男.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会2000年度年次大会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. II    No. 00-1    pp. 169-170
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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