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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fabricution of ultrafine X-ray mask using pricise crystal growth techniqe 
著者
和文: Y.Miyamoto, K.Furuya, D.Yamazaki.  
英文: Y.Miyamoto, K.Furuya, D.Yamazaki.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 31    No. 4A    pp. L432
出版年月 1992年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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