RFマグネトロンスパッタリング法によるCeO<sub>2</sub>/Siバッファー層の合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	RFマグネトロンスパッタリング法によるCeO₂/Siバッファー層の合成
英文:	Preparation of CeO₂ Thin Film on Si(001) by RF_magnetron Sputtering

著者

和文:	守屋智彦, 脇谷尚樹, 土方研一, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	守屋智彦, 脇谷尚樹, 土方研一, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会第16回関東支部研究発表会
英文:	16 th Ceramic Research Conference of Kanto Branch

巻, 号, ページ

No. 1A07 pp. 12-13

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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