PT-PZ系バッファー層導入によるPZT薄膜内の残留応力の制御

論文・著書情報

タイトル

和文:	PT-PZ系バッファー層導入によるPZT薄膜内の残留応力の制御
英文:	Control of Residual Stress in PZT Thin Film by PT-PZ Buffer Layer

著者

和文:	遠藤文徳, 岩崎彰則, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	遠藤文徳, 岩崎彰則, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2000年年会
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2000

巻, 号, ページ

No. 2E29 pp. 196

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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