薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作（第２報）－薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作－ | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作（第２報）－薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作－
英文:

著者

和文:	秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤海二, 下河辺明.
英文:	秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤海二, 下河辺明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 66 No. 2 pp. 287

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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