Structure Analysis of CeO<sub>2</sub>/ZrO<sub>2</sub>/Si Multilayer Thin Films by HRTEM

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structure Analysis of CeO₂/ZrO₂/Si Multilayer Thin Films by HRTEM

著者

和文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Takanori Kiguchi, Naoki Wakiya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mat. Res.Soc. symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 592 pp. 183-188

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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