Preparation of PbTiO<sub>3</sub> Thin Film by Mist Source Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (CVD) Using Heptane Solvent

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of PbTiO₃ Thin Film by Mist Source Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (CVD) Using Heptane Solvent

著者

和文:	Naoki Wakiya, Shingo Nagata, Masashi Higuchi, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Naoki Wakiya, Shingo Nagata, Masashi Higuchi, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 38 No. 9 pp. 5326-5331

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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