Thickness and Roughness Analysis on YSZ/Si(001) Epitaxial Films with Ultra Thin SiO2 Interface by X-Ray Reflectivity

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness and Roughness Analysis on YSZ/Si(001) Epitaxial Films with Ultra Thin SiO2 Interface by X-Ray Reflectivity

著者

和文:	C.-Hua Chen, N.Wakiya, A.Saiki, K.Shinozaki, N.Mizutani.
英文:	C.-Hua Chen, N.Wakiya, A.Saiki, K.Shinozaki, N.Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Key Engineering Materials (Electroceramics in Japan III)

巻, 号, ページ

Vol. 181182 pp. 121-124

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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