PREPARATION OF EPITAXIAL YSZ THIN FILM ON Si(001) USING METAL AND OXIDE TARGETS BY RF-MAGNETRON SPUTTERING

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	PREPARATION OF EPITAXIAL YSZ THIN FILM ON Si(001) USING METAL AND OXIDE TARGETS BY RF-MAGNETRON SPUTTERING

著者

和文:	Nobuyasu Mizutani, Naoki Wakiya, Makoto Yoshida Kenichi Hijikata, Kazuo Shinozaki.
英文:	Nobuyasu Mizutani, Naoki Wakiya, Makoto Yoshida Kenichi Hijikata, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	3rd Asian Meeting on Ferroelectrics

巻, 号, ページ

No. D3p.66

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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