Controlling the Residual Stresses in PZT Thin Film by Introducing Different Buffer Layers.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Controlling the Residual Stresses in PZT Thin Film by Introducing Different Buffer Layers.

著者

和文:	K.Shinozaki, A.Endo, A.Iwasaki, A.Saiki, N.Wakiya, N.Mizutani.
英文:	K.Shinozaki, A.Endo, A.Iwasaki, A.Saiki, N.Wakiya, N.Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended Abstracts of the 1st Asian Meeting on Electroceramics

巻, 号, ページ

No. 2PA03 pp. 49

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: