YSZ/Si薄膜界面へのSiO<sub>x</sub>層生成過程のTEMによるその場観察

論文・著書情報

タイトル

和文:	YSZ/Si薄膜界面へのSiO_x層生成過程のTEMによるその場観察
英文:	SiO_x Formation Process between YSZ and Si Substrate in YSZ/Si Thin Films by in-situ TEM Analysis

著者

和文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第20回電子材料研究討論会
英文:	Extended Abstraccts of the 20th Electronics Division Meeting

巻, 号, ページ

No. 2PB23 pp. 127

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: