ミスト供給した溶液気化化学気相堆積法(LSMCVD)を用いたPb系強誘電体薄膜の作成

論文・著書情報

タイトル

和文:	ミスト供給した溶液気化化学気相堆積法(LSMCVD)を用いたPb系強誘電体薄膜の作成
英文:	Preparation of Pb-based Ferroelectric Thin Films by Liquid Source Misted CVD(LSMCVD)

著者

和文:	樋口昌史, 朴萬栄, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	樋口昌史, 朴萬栄, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本セラミックス協会2000年年会
英文:	Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan, 2000

巻, 号, ページ

No. 2E33 pp. 198

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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