The effects of Oxygen Partial Pressure and Laser Influence on the Growth of Heteroepitaxial YSZ on Si(100) Using Pulsed Laser Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The effects of Oxygen Partial Pressure and Laser Influence on the Growth of Heteroepitaxial YSZ on Si(100) Using Pulsed Laser Deposition

著者

和文:	T. Yamada, N. Wakiya, K. Shinozaki, N. Mizutani.
英文:	T. Yamada, N. Wakiya, K. Shinozaki, N. Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 4th CISEM-DIM Joint Seminar

巻, 号, ページ

pp. 67-73

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: