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論文・著書情報


タイトル
和文:超精密加工機におけるテーブルと駆動系の連結機構 －加工環境制御超精密加工機CAPSULEへの組込み－ 
英文: 
著者
和文: 橋詰 等, 新野 秀憲, 伊東 誼.  
英文: 橋詰 等, 新野 秀憲, 伊東 誼.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会第69期通常総会講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. C        pp. 510-512
出版年月 1992年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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