微細シリコンデバイスに要求される各種高性能薄膜 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細シリコンデバイスに要求される各種高性能薄膜
英文:

著者

和文:	大見俊一郎.
英文:	SHUN-ICHIRO OHMI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会誌
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 69 No. 1 pp. 4-14

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.