【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
High Speed Nanometer Positioning Using a Hybrid Linear Motor
著者
和文:
新野 秀憲
, Hashizume, H..
英文:
Shinno, H.
, Hashizume, H..
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Annals of the CIRP(International Institution for Production Engineering Research)
巻, 号, ページ
Vol. 50 No. 1 pp. 243-246
出版年月
2001年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1016/S0007-8506(07)62114-3
©2007
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