On the ductile machining of silicon for micro electro-mechanical systems (MEMS), opto-electronics and optical applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	On the ductile machining of silicon for micro electro-mechanical systems (MEMS), opto-electronics and optical applications

著者

和文:	J.Yan, 吉野雅彦, T.Kuriagawa, T.Shirakashi, K.Syoji, R.Komanduri.
英文:	J.Yan, M.Yoshino, T.Kuriagawa, T.Shirakashi, K.Syoji, R.Komanduri.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science and Engineering

巻, 号, ページ

Vol. A No. 297 pp. 230-234

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: