共焦点光学系の走査型レーザ顕微鏡による表面凹凸形状測定と機能的ディジタルフィルタ処理

論文・著書情報

タイトル

和文:	共焦点光学系の走査型レーザ顕微鏡による表面凹凸形状測定と機能的ディジタルフィルタ処理
英文:	Surface Topography Measurement using Confocal Scanning Laser Microscope

著者

和文:	原　精一郎, 柳　和久, 松尾　慎, 山田　隆一.
英文:	原　精一郎, 柳　和久, 松尾　慎, 山田　隆一.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 64 No. 5 pp. 710-714

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: