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論文・著書情報


タイトル
和文:磁気ディスクを対象とした表面形状測定の装置間比較 
英文:Comparison among the Results of Surface Profile Measuring Instruments for Magnetic Disks 
著者
和文: 原精一郎, 大曽根智明.  
英文: 原精一郎, 大曽根智明.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会春季大会学術講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 412
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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