高速ナノメートル位置決めテーブルシステムに関する研究（繰り返し制御による超精密位置決めの実現）

論文・著書情報

タイトル

和文:	高速ナノメートル位置決めテーブルシステムに関する研究（繰り返し制御による超精密位置決めの実現）
英文:	A Study on High Speed Nanometer Positioning Table System(Realization of Ultraprecision Using a Repetitive Control Method)

著者

和文:	吉岡勇人, 橋詰等, 新野秀憲.
英文:	吉岡勇人, 橋詰等, HIDENORI SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集（C編）
英文:	Transactions of the Japan Society for Mechanical Engineers

巻, 号, ページ

Vol. 67 No. 663 pp. 3662-3668

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI