薄膜SOI基板上に作製した強誘電体ゲートFETの評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	薄膜SOI基板上に作製した強誘電体ゲートFETの評価
英文:

著者

和文:	會澤康治, 石原宏.
英文:	會澤康治, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第48回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 No. 28p-ZX-3 pp. 539

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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