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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Fundamental Characteristics of Pulse-Operated Helium Inductively Coupled Plasma 
著者
和文: 渡邊正人.  
英文: MASATO WATANABE.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:28th IEEE Int.Conf.Plasma Science 
巻, 号, ページ         pp. 177
出版年月 2001年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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