Epitaxial Growth of Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Film by Low Temperature Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Epitaxial Growth of Si_1-yC_y Film by Low Temperature Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Takashi OKABAYASHI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Takashi OKABAYASHI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	First International WorkShop on New Group IV (Si-Ge-C) Semiconductors -Control of Properties and Applications to Ultrahigh Speed and Opto-Electronic Devices

巻, 号, ページ

pp. IV-01

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: