P-Doping into Strain-Induced Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Epitaxial Films Grown by Low Temperature Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	P-Doping into Strain-Induced Si_1-yC_y Epitaxial Films Grown by Low Temperature Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Takashi OKABAYASHI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Syuhei YAGI, Katsuya ABE, Takashi OKABAYASHI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2001 International Confernece on Solid State Devices and Materials

巻, 号, ページ

pp. 484-485

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: