Growth and Characterization of Phosphorus Doped Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub>  Alloy Grown by Photo- and Plasma-CVD at Very Low Termperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth and Characterization of Phosphorus Doped Si_1-yC_y Alloy Grown by Photo- and Plasma-CVD at Very Low Termperature

著者

和文:	Katsuya ABE, Syuhei YAGI, Takashi OKABAYASHI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Katsuya ABE, Syuhei YAGI, Takashi OKABAYASHI, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	European Material Research Society Spring Meeting 2001

巻, 号, ページ

pp. D-19

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文: