Characterization of Low Temperature Epitaxial Si and Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Films Grown by Hot Wire Cell Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Low Temperature Epitaxial Si and Si_1-yC_y Films Grown by Hot Wire Cell Method

著者

和文:	Tatsuro WATAHIKI, Katsuya ABE, Hajime TAMURA, Syuhei MIYAJIMA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.
英文:	Tatsuro WATAHIKI, Katsuya ABE, Hajime TAMURA, Syuhei MIYAJIMA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	European Material Research Society Spring Meeting 2001

巻, 号, ページ

pp. D-22

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: