High Quality La┣D22┫D2O┣D23┫D2 Films for High-k Gate Insulator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Quality La┣D22┫D2O┣D23┫D2 Films for High-k Gate Insulator

著者

和文:	S.Ohmi, C. Kobayashi, K. Aizawa, S. Yamamoto, E. Tokumitsu, H. Ishiwara, H.Iwai.
英文:	S.Ohmi, C. Kobayashi, K. Aizawa, S. Yamamoto, E. Tokumitsu, H. Ishiwara, H.Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	31st European Solid-State Device Research Conference

巻, 号, ページ

pp. 235-238

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: