Rare Earth Metal Oxide Gate Thin Films Prepared by E-beam Dposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rare Earth Metal Oxide Gate Thin Films Prepared by E-beam Dposition

著者

和文:	S.Ohmi, S. Akama, A. Kikuchi, I. Kashiwagi, C. Ohshima, J. Taguchi, H. Yamamoto, C. Kobayashi, K. Sato, M. Takeda, K. Oshima, H. Ishiwara, H.Iwai.
英文:	S.Ohmi, S. Akama, A. Kikuchi, I. Kashiwagi, C. Ohshima, J. Taguchi, H. Yamamoto, C. Kobayashi, K. Sato, M. Takeda, K. Oshima, H. Ishiwara, H.Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Workshop on Gate Insulator 2001

巻, 号, ページ

pp. 200-204

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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