超高真空電子ビーム蒸着法により堆積した高誘電率材料ZrO<sub>2</sub>膜の特性 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	超高真空電子ビーム蒸着法により堆積した高誘電率材料ZrO₂膜の特性
英文:

著者

和文:	大島享介, 大見俊一郎, 徳光永輔, 岩井洋, 石原宏.
英文:	大島享介, 大見俊一郎, 徳光永輔, 岩井洋, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第４８回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.