電子ビーム蒸着法によるZrO<sub>2</sub>薄膜形成時における酸素導入の効果 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	電子ビーム蒸着法によるZrO₂薄膜形成時における酸素導入の効果
英文:

著者

和文:	大島享介, 大見俊一郎, 朴炳垠, 石原宏, 岩井洋.
英文:	大島享介, 大見俊一郎, 朴炳垠, 石原宏, 岩井洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第62回応用物理学会学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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