EFFECT OF PERIODIC ADDITION OF HYDROGEN GAS ON NITRIDING OF TITANIUM PLATE USING AN RF PLASMA

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	EFFECT OF PERIODIC ADDITION OF HYDROGEN GAS ON NITRIDING OF TITANIUM PLATE USING AN RF PLASMA

著者

和文:	Atsutoshi Makihira, H.Sekiguchi, A.Kanzawa, T.Honda.
英文:	Atsutoshi Makihira, H.Sekiguchi, A.Kanzawa, T.Honda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第4回プラズマ化学合同シンポジウムアブストラクト集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 18

出版年月

1991年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: