Preparation of Titanium Nitride Ultrafine Particles Using The Interaction between A Titanium and A Reactive Arc Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Titanium Nitride Ultrafine Particles Using The Interaction between A Titanium and A Reactive Arc Plasma

著者

和文:	Masahiro BESSHO, H.SEKIGUCHI, A.KANZAWA.
英文:	Masahiro BESSHO, H.SEKIGUCHI, A.KANZAWA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第7回プラズマ材料科学シンポジウムアブストラクト集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 107

出版年月

1994年

出版者

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会議名称

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開催地

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