EFFECT OF PERIODIC ADDITION OF HYDROGEN GAS ON NITRIDING OF TITANIUM　PLATE USING AN RF PLASMA

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	EFFECT OF PERIODIC ADDITION OF HYDROGEN GAS ON NITRIDING OF TITANIUM　PLATE USING AN RF PLASMA

著者

和文:	H.Sekiguchi, Atsutoshi Makihira, A.Kanzawa, T.Honda.
英文:	H.Sekiguchi, Atsutoshi Makihira, A.Kanzawa, T.Honda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. Symp. Plasma Sci. Mat

巻, 号, ページ

Vol. 6 pp. 177-182

出版年月

1993年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: