Preparation of Titanium Nitride Ultrafine Particles Using The Interaction between A Titanium and A Reactive Arc Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Titanium Nitride Ultrafine Particles Using The Interaction between A Titanium and A Reactive Arc Plasma

著者

和文:	H.SEKIGUCHI, Masahiro BESSHO, A.KANZAWA, T.HONDA.
英文:	H.SEKIGUCHI, Masahiro BESSHO, A.KANZAWA, T.HONDA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. Symp. Plasma Sci. Mat.

巻, 号, ページ

Vol. 7 pp. 197-202

出版年月

1994年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: