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論文・著書情報


タイトル
和文:金属および酸化物ターゲットを用いたエピタキシャルYSZ/Siマグネトロンスパッタ膜の構造と電気特性 
英文: 
著者
和文: 吉田 慎, 山田智明, 脇谷尚樹, 土方研一, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
英文: 吉田 慎, 山田智明, 脇谷尚樹, 土方研一, 篠崎和夫, 水谷惟恭.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第15回日本セラミックス協会関東支部研究発表会 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 1A19    pp. 37-38
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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