SiO2パターニングによるPZT薄膜の選択的結晶化 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	SiO2パターニングによるPZT薄膜の選択的結晶化
英文:

著者

和文:	横村伸緒, 木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	横村伸緒, 木口賢紀, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成11年度科学技術振興調整費｢協奏反応場の増幅制御を利用した新材料創製に関する研究｣
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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