MIFIS構造におけるエピタキシャルCeO/YSZバッファー層の結晶構造と電気的特性に及ぼすYSZ膜厚の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	MIFIS構造におけるエピタキシャルCeO/YSZバッファー層の結晶構造と電気的特性に及ぼすYSZ膜厚の影響
英文:	Effect of YSZ Thickness on Crystal Structure and Electric Properties of Epitaxial CeO2/YSZ Buffer Layer in MFIS Stacked Structures

著者

和文:	山田智明, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.
英文:	山田智明, 脇谷尚樹, 篠崎和夫, 水谷惟恭.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第17回強誘電体応用会議
英文:	17 th Meeting on Ferroelectric Materials and their Applications

巻, 号, ページ

No. 27-T-44 pp. 205-206

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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