Characterization of Tensilely Strained Si1-yCy Alloy Grown by Photo- and Plasma Chemical Vapor Deposition at Very Low Temperature

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Tensilely Strained Si1-yCy Alloy Grown by Photo- and Plasma Chemical Vapor Deposition at Very Low Temperature

著者

和文:	Katsuya Abe, Shuhei Yagi, Takashi Okabayashi, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Katsuya Abe, Shuhei Yagi, Takashi Okabayashi, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 40 No. 7 pp. 4440-4444

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: