Boron Diffusion in Amorphous Silica Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Boron Diffusion in Amorphous Silica Films

著者

和文:	Kyoko Kawagishi, Masahiro Susa, Toshio Maruyama, Kazuhiro Nagata.
英文:	Kyoko Kawagishi, Masahiro Susa, Toshio Maruyama, Kazuhiro Nagata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Electrochem. Soc.

巻, 号, ページ

Vol. 144 No. 9 pp. 3270-3275

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: