高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルテーブルに関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルテーブルに関する研究
英文:	Resarch on High Speed Ultraprecisin Table System with High Dynamic Stability

著者

和文:	新野秀憲.
英文:	HIDENORI SHINNO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成１２年度～平成１３年度科学研究費補助金（基盤研究（B)（２））研究成果報告書（課題番号１２４５００５６）
英文:	Report of Research Project, Grant-In-Aid for Scientific Research (B)

巻, 号, ページ

出版年月

2002年

出版者

和文:	平成１２年度～平成１３年度科学研究費補助金（基盤研究（B)（２））研究成果報告書（課題番号１２４５００５６）
英文:	Report of Research Project, Grant-In-Aid for Scientific Research (B)

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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