超精密リニア駆動装置の研究（リニアモータ構造の検討）

論文・著書情報

タイトル

和文:	超精密リニア駆動装置の研究（リニアモータ構造の検討）
英文:	Research on Ultraprecision Linear Motor Driving System(Investigation on Structure of Linear Motor)

著者

和文:	沢田潔, 河合知彦, 新野秀憲, 橋詰等.
英文:	沢田潔, 河合知彦, 新野秀憲, 橋詰等.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	２００２年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:	Proc. of 2002 Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

pp. 359

出版年月

2002年

出版者

和文:	２００２年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:	Proc. of 2002 Japan Society for Precision Engineering

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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